电子工业制备超纯水的工艺大致分成以下3种：

　　 1、电子工业超纯水设备采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理体例，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→细密过滤器→中心水箱→阳床→阴床→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

　　 2、电子工业超纯水设备采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的体例，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→细密过滤器→中心水箱→反渗透设备→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

　　 3、电子工业超纯水设备采用反渗透设备与电去离子（EDI）设备进行搭配制备电子工业超纯水的的体例，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力伟大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→细密过滤器→中心水箱→反渗透设备→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

    电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、细密过滤器等构成预处理体系、RO反渗透主机体系、离子交换混床（EDI电除盐体系）体系等构成重要设备体系。原水箱、中心水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制体系、高低压水泵均设有高低压压力珍爱装配、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用保举和客户要求相同一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。